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          2019年

        • 201912

          泛半导体应用TFLITE研制成功
        • 201912

          获评国家知识产权示范企业
        • 201912

          完成第四轮融资
        • 20199

          SACVD研制成功并出厂到客户端

          2018年

        • 201812

          首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
        • 201810

          12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

          2017年

        • 201712

          首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
        • 201710

          PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
        • 20179

          SAP系统上线
        • 20178

          完成第三轮融资

          2016年

        • 201612

          拓荆新厂投入使用
        • 20164

          十一五重大专项通过国家验收
        • 20163

          首台12英寸ALD出厂到客户端

          2015年

        • 201512

          获批国家十三五科技重大专项
        • 20159

          完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
        • 20153

          PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

          2014年

        • 201412

          获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
        • 20148

          中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
        • 20145

          完成公司首轮增资

          2013年

        • 201312

          PF-300T通过中芯国际产品线测试
        • 20135

          首台12寸PF-300销售

          2012年

        • 201212

          推出12英寸多反应腔PF-300T设备

          2011年

        • 201110

          首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
          成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

          2010年

        • 201010

          12英寸PECVD样机1装调完成
        • 20104

          沈阳拓荆科技有限公司成立

          2009年

        • 20099

          12英寸PECVD设计工作启动

          2008年

        • 200812

          获批国家十一五科技重大专项
        • 20084

          首台CC1-150销售

          2007年

        • 20076

          首台CC1-150装调完成

          2006年

        • 20067

          PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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        2019年
        • 12

          2019
          泛半导体应用TFLITE研制成功
        • 12

          2019
          获评国家知识产权示范企业
        • 12

          2019
          完成第四轮融资
        • 9

          2019
          SACVD研制成功并出厂到客户端
        2018年
        • 12

          2018
          首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
        • 10

          2018
          12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
        2017年
        • 12

          2017
          首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
        • 10

          2017
          PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
        • 9

          2017
          SAP系统上线
        • 8

          2017
          完成第三轮融资
        2016年
        • 12

          2016
          拓荆新厂投入使用
        • 4

          2016
          十一五重大专项通过国家验收
        • 3

          2016
          首台12英寸ALD出厂到客户端
        2015年
        • 12

          2015
          获批国家十三五科技重大专项
        • 9

          2015
          完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
        • 3

          2015
          PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
        2014年
        • 12

          2014
          获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
        • 8

          2014
          中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
        • 5

          2014
          完成公司首轮增资
        2013年
        • 12

          2013
          PF-300T通过中芯国际产品线测试
        • 5

          2013
          首台12寸PF-300销售
        2012年
        • 12

          2012
          推出12英寸多反应腔PF-300T设备
        2011年
        • 10

          2011
          首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
          成功研制2-12英寸单腔SC-300设备
        2010年
        • 10

          2010
          12英寸PECVD样机1装调完成
        • 4

          2010
          沈阳拓荆科技有限公司成立
        2009年
        • 9

          2009
          12英寸PECVD设计工作启动
        2008年
        • 12

          2008
          获批国家十一五科技重大专项
        • 4

          2008
          首台CC1-150销售
        2007年
        • 6

          2007
          首台CC1-150装调完成
        2006年
        • 7

          2006
          PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

        ©2021 拓荆科技股份有限公司 辽ICP备05007152号-1

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